Mikroelektromekanik sistemler (MEMS), mikrofabrikasyon süreçleri kullanılarak yapılan minyatür elektromekanik sistemlerdir; mikrosensörler, mikro eyleyiciler, mikro yapılar ve mikroelektronikten oluşur; mürekkep püskürtmeli yazıcı kafaları, dijital ışık işlemcileri, akıllı telefonlardaki jiroskoplar, hava yastıkları için ivmeölçerler ve minyatür mikrofonlar gibi çeşitli cihazlarda kullanılabilir.
Diğer adları
types of microelectromechanical systems · micro-electro-mechanical systems · types of micro-electro-mechanical systems · miniaturised electro-mechanical systems · types of miniaturised electromechanical systems · types of miniaturised electro-mechanical systems · typology of miniaturised electromechanical systems · typology of micro-electro-mechanical systems · MEMS · types of MEMS · typology of microelectromechanical systems · miniaturised electromechanical systems · typology of miniaturised electro-mechanical systems · typology of MEMS