Boyutları 1 µm ile 1 mm arasında olan nano, mikro ya da mezo ölçekli sistem ve bileşenlerin montajı; mikro ölçekte hassasiyet gerektiğinden mikro montajlar iyon ışını görüntüleme sistemleri ve stereo elektron mikroskopları gibi güvenilir görsel hizalama donanımı ile mikro tutucular gibi hassas alet ve makineler gerektirir; mikro sistemler katkılama, ince film, aşındırma, bağlama, mikrolitografi ve parlatma tekniklerine göre monte edilir.